发明名称 对准控制装置及改变光罩透光面积之方法
摘要 本发明提供一种对准控制装置及改变光罩透光面积之方法,其系利用对准控制装置将胶布对准贴附于一光罩上以缩小光罩的透光面积,该对准控制装置包括一基座,其表面由下往上依序设有一旋转装置、一可调整左右移动之第一调整装置、一可调整前后移动之第二调整装置及一移动主体,且移动主体的一侧并设置有一可调整一黏贴板上下移动之第三调整装置,使黏贴板随着移动主体而被准确得调整移动至光罩胶布黏贴位置的正上方后,可被往下调整而使黏贴板底面所设置的胶布贴附于光罩上。本发明之方法具有可快速改变光罩透光面积之优点,除了可降低成本外,对准控制装置的作动并可使得所贴附胶布的位置其误差可被精准的控制于极微小的范围内。
申请公布号 TW464949 申请公布日期 2001.11.21
申请号 TW089125842 申请日期 2000.12.05
申请人 宏丽科技股份有限公司 发明人 刘志勇
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人 林火泉 台北市忠孝东路四段三一一号十二楼之一
主权项 1.一种对准控制装置,其系用以对准并设置一胶布于一光罩上,该对准控制装置包括:一基座,其表面设置有一旋转装置;一第一调整装置,设置于该旋转装置表面;一第二调整装置,其系设置于该第一调整装置上,并受该第一调整装置的驱动而左右水平移动;一移动主体,其系设置于该第二调整装置上,并受该第二调整装置的驱动而前后水平移动;以及一第三调整装置,其系设置于该移动主体的一侧面,且该第三调整装置上架设有一黏贴板,以在该第三调整装置作动时会驱动该黏贴板上下垂直移动,在该黏贴板的底面并可供设置有一胶布,使该黏贴板被下压时该胶布会贴附于该光罩上。2.如申请专利范围第1项所述之对准控制装置,其中,该第一调整装置、第二调整装置及第三调整装置并各包括:一壳体,其相对二内侧面之间平行设置有二滑轨;一移动块,其系套设于该二滑轨上,且该移动块与该壳体之间并利用二平行之弹簧连接,使该移动块于该滑轨上作动时,会压缩该二弹簧;以及一调整杆,穿设该壳体并与该移动块接触,使该调整杆作动时会驱动该移动块于该滑轨上作动,并进而压缩该二弹簧。3.如申请专利范围第1项所述之对准控制装置,其中,该黏贴板上并设置有一水平仪,以调整该黏贴板维持于水平状态。4.一种改变光罩透光面积之方法,包括下列步骤:提供一光罩;在该光罩上丈量规划出一不透光区域;以及利用一对准控制装置将一胶布对准黏贴于该不透光区域上。5.如申请专利范围第4项所述之改变光罩透光面积之方法,其中,该胶布系为不透光材质者,并先利用酒精擦拭后再被贴附于该光罩上。图式简单说明:第一图为本发明之对准控制装置结构示意图。第二图为本发明之对准控制装置局部结构示意图。第三图A及第三图B为本发明之方法示意图。第四图为本发明之一实施例。第五图为本发明之实施例局部作动示意图。
地址 新竹县湖口乡新竹工业区光复南路五十一号