发明名称 形成多孔性有机薄膜用的涂覆溶液
摘要 形成多孔性有机薄膜用的涂覆溶液,其中包含下列A)至C),其中A)及B)具有相应的热分解起始温度 Ta及Tb而满足下列关系:Ta>Tb:A)在主链上带有芳香环的热固性树脂,B)加热可分解的树脂而彼系得自聚合一组单体而彼包括至少一种由下式(l)或(2)代表的化合物,及C)有机溶剂,
申请公布号 TW464978 申请公布日期 2001.11.21
申请号 TW089127267 申请日期 2000.12.19
申请人 住友化学工业股份有限公司 发明人 吉田佑司;崔铉;田笃
分类号 H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种形成多孔性有机薄膜用的涂覆溶液,其中包含以下A)至C),其中A)与B)具有相应的热分解起始温度Ta及Tb而满足下列关系:Ta>Tb:A)在主链上带有芳香环的热固性树脂,B)加热可分解的树脂而彼系得自聚合一组单体而彼包括至少一种由下式(1)或(2)代表的化合物,及C)有机溶剂,其中,X代表带有2至6个碳原子的烯基基团,各个R1至R3系独立代表氢原子、或带有1至4个碳原子的烷基基团,且在式(1)中R1.R2及R3可分别地不同于式(2)中的R1.R2及R3。2.如申请专利范围第1项之涂覆溶液,其中A)为热固性树脂彼在主链具有一结构而其中芳香环系经由醚基团而键结。3.如申请专利范围第1项之涂覆溶液,其中A)为热固性树脂彼具有由下式(3)代表的单位结构:其中,各个L1至L8系独立选自氢原子、氯原子、溴原子、碘原子、带有1至10个碳原子的烷基基团、带有2至10个碳原子的烯基基团、带有2至10个碳原子的炔基基团、带有4至10个碳原子的环烷基基团、甲氧基基团、乙氧基基团、苯基基团而彼系可经取代者,与由下式(4)代表的官能基团,A系选自以下官能基团中一或更多者,且B系选自下列一或更多者:直接键结、带有1至20个碳原子的烃基团、醚基团、酮基团及基团,其中,各个Q1至Q12系独立选自氢原子、带有1至10个碳原子的烷基基团、带有2至10个碳原子的烯基基团、带有2至10个碳原子的炔基基团、及由下式(4)代表的官能基团,Q13系选自带有1至10个碳原子的烷基基团、带有2至10个碳原子的烯基基团、及带有2至10个碳原子的炔基基团,Y系选自氢原子、氟原子、氯原子、溴原子、碘原子、-OZ1基团、及-N(Z2)(Z3)基团。各个Z1至Z3系独立选自氢原子,饱和或不饱和烃基团、及其中内含醚键结的基团,-Si(T1)n(T2)3-n (4)其中,T1系选自带有2至10个碳原子的烯基基团,T2系选自带有1至10个碳原子的烷基基团、及伸芳基基团而彼系可经取代者。n代表1至3之整数,当n为2或3时T1可相互地不同,且当n为1时T2亦可相互地不同。4.如申请专利范围第3项之涂覆溶液,其中在式(3)中至少一种的L1至L8,Q1至Q13系选自一类群而此类群系由带有2至10个碳原子的烯基基团、带有2至10个碳原子的炔基基团、及官能由式(4)代表的基团所组成。5.如申请专利范围第3项之涂覆溶液,其中在式(3)中至少一种的L1至L8,Q1至Q13系选自乙烯基基团、烯丙基基团、2-丙炔基基团、乙烯基二烷基矽烷基基团而彼包含带有1至3个碳原子的烷基基团,及二乙烯基烷基矽烷基基团而彼包含带有1至3个碳原子的烷基基团。6.如申请专利范围第1项之涂覆溶液,其中A)的热固性反应起始温度Tah低于Tb。7.如申请专利范围第1项之涂覆溶液,其中A)的热分解起始温度Ta为350℃或更高。8.如申请专利范围第1项之涂覆溶液,其中B)为加热可分解的树脂而彼系得自一组单体之聚合而其中包括至少一种彼系选自一类群者而此类群系由苯乙烯、乙烯基甲苯、乙烯基二甲苯、-甲基苯乙烯、-甲基乙烯基甲苯、-甲基乙烯基二甲苯、-乙基苯乙烯、-乙基乙烯基甲苯及-乙基乙烯基二甲苯所组成。9.如申请专利范围第1项之涂覆溶液,其中B)具有重量平均分子量经由GPC测量且就聚苯乙烯而言在50000或更低。10.如申请专利范围第1项之涂覆溶液,其中介于A)及B)之间的热分解起始温度Ta与Tb之差异在40℃或更高。11.如申请专利范围第1项之涂覆溶液,其中有机溶剂C)为其在分子中带有芳香环之有机溶剂且包含其沸点在250℃或更低的溶剂。12.如申请专利范围第1项之涂覆溶液,其中C)为一有机溶剂而其中包含至少含有一种彼系选自苯甲醚、苯乙醚,及二甲基酚者。13.一种生产多孔性有机薄膜之方法,其中此方法包含将如申请专利范围第1项之形成多孔性有机薄膜用的涂覆溶液施用在基材上之步骤,在Tah或更高且低于Tb之温度将此涂覆溶液加热固化,且在Tb或更高且低于Ta之温度执行热处理,以使彼产生孔穴。
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