发明名称 ELECTRICALLY ADJUSTABLE DIFFRACTION GRATING
摘要
申请公布号 EP1155355(A1) 申请公布日期 2001.11.21
申请号 EP20000904763 申请日期 2000.02.16
申请人 PPM PHOTOMASK INC.;KULISHOV, MYKOLA 发明人 KULISHOV, MYKOLA
分类号 G02F1/05;G02F1/065;G02F1/29;G02F1/295;(IPC1-7):G02F1/29;H01S3/115 主分类号 G02F1/05
代理机构 代理人
主权项
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