发明名称 化学沉积用活化催化溶液和化学沉积方法
摘要 用于化学沉积的亲水性活化催化溶液是乳酸盐、钯和碱性介质的混合物。所述溶液在经过短时间辐照后能沉积钯催化剂,并能用水或类似物更有效地除去不需要的感光膜。所述乳酸盐最好包括乳酸铜和/或乳酸锌,所述钯盐最好是氯化钯。$#!
申请公布号 CN1075126C 申请公布日期 2001.11.21
申请号 CN98105376.9 申请日期 1998.02.26
申请人 株式会社村田制作所 发明人 加纳修;吉田育史;小木曾美文
分类号 C23C18/30;C23C18/16;H05K3/18 主分类号 C23C18/30
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 白益华
主权项 1.一种用于化学沉积的亲水性活化催化溶液,它包括乳酸盐、钯盐和碱性介质的混合物。
地址 日本京都府