发明名称 Apparatus for light beam deflection
摘要
申请公布号 EP1113301(A3) 申请公布日期 2001.11.21
申请号 EP20000124485 申请日期 2000.11.09
申请人 LEICA MICROSYSTEMS HEIDELBERG GMBH 发明人 STORZ, RAFAEL, DR.;ENGELHARDT, JOHANN, DR.;BIRK, HOLGER, DR.;BRADL, JOACHIM , DR.
分类号 G02B26/10;G02B21/00;(IPC1-7):G02B21/00 主分类号 G02B26/10
代理机构 代理人
主权项
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