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发明名称 Transport system and controlling procedure for that system
摘要
申请公布号 EP0894751(B1) 申请公布日期 2001.11.21
申请号 EP19970112966 申请日期 1997.07.28
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 WELZK, ANDRE DIPL.-ING.;HEINRICH, HARALD DIPL.-ING.;ODRICH, FALK DIPL.-ING.;OESTERREICH, PETER CAND.-ING.;RECKLIES, JOERG DIPL.-ING.
分类号 B65G1/137;B65G43/08;B65G47/50;B65G61/00;G08G1/00;H01L21/677;H05K13/00;(IPC1-7):B65G47/50;H01L21/00 主分类号 B65G1/137
代理机构 代理人
主权项
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