| 发明名称 |
Apparatuses for deposition or etching |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0758688(B1) |
申请公布日期 |
2001.11.21 |
| 申请号 |
EP19960112896 |
申请日期 |
1996.08.09 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
SHIOMI, HIROMU |
| 分类号 |
C23C16/505;C23C16/511;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50;C23F4/00 |
主分类号 |
C23C16/505 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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