一种利用(100)硅片制作的微机械光开关

摘要

本实用新型涉及一种利用(100)硅片制作的微机械光开关,属于光电子器件领域。它是由框架1、镜面2、质量块3、悬臂梁4、V形槽5和电极6等六部分构成,本实用新型提供的微机械光开关可以制成1×2、2×2…N×N等多种光开关阵列。本实用新型具有工艺简单,易于操作,控制方便,重复程度高等特点,在全光网络通信和光纤到户中发挥重要作用。

主权项

1．一种利用(100)硅片制作的微机械光开关，其特征在于单元光开关是由框架(1)、镜面(2)、质量块(3)、悬臂梁(4)、V形槽(5)以及电极(6)六部分构成。