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发明名称 CROSS OPTICAL AXIS INSPECTION SYSTEM FOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 SG84530(A1) 申请公布日期 2001.11.20
申请号 SG19990002237 申请日期 1999.05.12
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES, INC. 发明人 TOH PENG SENG;TAY CHIAT PIN;LOH AIK KOON;WANG YING JIAN
分类号 H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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