| 发明名称 |
Apparatus for evaluating plasma polymerized polymer layer using uv spectrometer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU3611701(A) |
申请公布日期 |
2001.11.20 |
| 申请号 |
AU20010036117 |
申请日期 |
2001.02.06 |
| 申请人 |
LG ELECTRONICS INC. |
发明人 |
SUNG HEE KANG;HYUN UK LEE |
| 分类号 |
H01J37/00;G01N21/00;G01N21/33;H01J37/32;H05H1/24 |
主分类号 |
H01J37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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