| 发明名称 |
Anode assembly for plating and planarizing a conductive layer |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2729601(A) |
申请公布日期 |
2001.11.20 |
| 申请号 |
AU20010027296 |
申请日期 |
2000.12.20 |
| 申请人 |
NUTOOL, INC. |
发明人 |
RIMMA VOLODARSKY;KONSTANTIN VOLODARSKY;CYPRIAN UZOH;HOMAYOUN TALIEH;DOUGLAS W. YOUNG |
| 分类号 |
C25D7/12;C25D17/12;C25D17/14;C25F3/30;C25F7/00;H01L21/288;H01L21/306 |
主分类号 |
C25D7/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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