3 METHOD OF POSITIONING BY MEANS OF AN ACTUATOR HAVING THREE BRIDGES

摘要

한 평면에서 2개의 부분을 회전시킴으로써 이들 2개의 부품의 각 위치를 조정하는 상기 평면에 있는 3개의 열기계적 액추에이터가 제공된다. 상기한 3개의 액추에이터 중에서 2개의 인접하는 액추에이터가 (예를 들면, 레이저 빔의 조사에 의해) 가열된 후 냉각되어 상기한 가열된 액추에이터의 길이를 줄임으로써, 제 3 액추에이터의 길이를 변하지 않게 유지한다. 양쪽 방향으로의 회전이 얻어질 수 있으며 엄밀하게 제어된다.