| 摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messvorrichtung (1) zur Formvermessung einer Oberfläche eines Objekts (O) mit einer eine kurzkohärente Strahlung abgebenden Strahlungsquelle (LQ), einem Strahlteiler (ST) zum Bilden eines über einen Objektlichtweg zu dem Objekt (O) geleiteten Objektstrahls (OS) und eines über einen Referenzlichtweg zu einer reflektierenden Referenzebene (RSP) geleiteten Referenzstrahls (RS) und mit einem Bildaufnehmer (BA), der die von dem Objekt (O) und der Referenzebene (RSP) zurückgeworfene und zur Interferenz gebrachte Strahlung aufnimmt und einer Auswerteeinrichtung zum Bestimmen der Oberflächenform zuführt. Eine gute Anpassbarkeit und Handhabbarkeit auch an schwer zugänglichen Messstellen wird dadurch ermöglicht, dass im Objektlichtweg eine bezüglich des Objektes (O) starre Optik (SO) angeordnet ist und dass der starren Optik (SO) eine in Richtung ihrer optischen Achse bewegliche Optik (BO) folgt. |
