| 摘要 |
<p>본 발명은 전계 방출 표시소자(Field Emission Display) 등에 사용되는 필드 에미터에서 전자 방출을 위한 팁으로 초미세 카본나노튜브를 전기 영동법으로 부착시킨 전기영동법을 이용한 카본나노튜브 필드 에미터의 제조 방법을 기재한다. 본 발명에 따른 전기영동법을 이용한 카본나노튜브 필드 에미터의 제조 방법은 팁으로 초미세 카본나노튜브 분말에 계면활성제를 넣어 잘 분산시킨 용액을 만들고, 이 카본나노튜브 분말 용액에 필드 에미터 형성을 위한 기판을 넣어 전기영동법으로 +로 대전된 카본나노튜브를 -전압이 인가된 음극에 증착시켜 필드 에미터를 제작한다.이러한 방법은 전극에 카본나노튜브의 선택적 증착이 가능하며, 전공정을 통하여 상온 증착법 및 저온 열처리를 이용한 초저가 기술을 이용하여 필드 에미터의 일함수를 낮추어 구동 전압을 하강시키고, 동작시 발생하는 이온화 가스 등에 의한 내구성을 향상시켜 필드 에미터의 동작 수명을 증가시킨다.</p> |
