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经营范围
发明名称
DEVICE AND METHOD FOR THERMALLY TREATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号
KR20010102324(A)
申请公布日期
2001.11.15
申请号
KR1020017010692
申请日期
2001.08.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/324
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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