摘要 |
<p>본 발명은 반도체 소자의 정전기 방지 구조에 있어서, 핀 리키지 페일이 발생한 부분을 확인할 수 있는 정전기 방지 구조에 관한 것이다. 본 발명은 메탈 공정에서 핀 리키지 페일이 발생한 부분을 확인할 수 있는 정전기 방지 구조에 있어서, 연결 수단을 이용하여 정전기 방지 회로 내의 트랜지스터를 패드에 각각 연결하고, 상기 연결 수단을 순차적으로 절단함으로써 핀 리키지 페일이 발생한 부분을 확인할 수 있는 정전기 방지 구조를 제시한다.</p> |