ELECTRON BEAM DEVICE

摘要

전자 빔 장치는 전자 방출 소자를 갖는 전자원와, 전자 빔-조사 부재와, 상기 전자원과 상기 부재와의 사이에 배치된 도전성 스페이서를 포함하며, 전자 빔 장치는 스페이서의 전자원측 상의 단부를 따라 배치된 전극을 가지며, 상기 전극은 스페이서의 단부에서의 전자원에 대향하는 면에 의해 형성된 영역의 내측상에 제공되는 것을 특징으로 한다.