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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR TREATING TABULAR SUBSTRATES, ESPECIALLY SILICON WAFERS FOR PRODUCING MICROELECTRONIC ELEMENTS
摘要
申请公布号 EP1153421(A1) 申请公布日期 2001.11.14
申请号 EP19990904791 申请日期 1999.01.18
申请人 KUNZE-CONCEWITZ, HORST 发明人 KUNZE-CONCEWITZ, HORST
分类号 H01L21/304;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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