SILICON SINGLE-CRYSTAL WAFER FOR EPITAXIAL WAFER, EPITAXIAL WAFER, METHODS FOR PRODUCING THEM, AND EVALUATING METHOD,申请号KR1020017007346-传众专利搜索

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发明名称	SILICON SINGLE-CRYSTAL WAFER FOR EPITAXIAL WAFER, EPITAXIAL WAFER, METHODS FOR PRODUCING THEM, AND EVALUATING METHOD
摘要
申请公布号	KR20010101189(A)	申请公布日期	2001.11.14
申请号	KR1020017007346	申请日期	2001.06.13
申请人		发明人
分类号	C30B15/04	主分类号	C30B15/04
代理机构		代理人
主权项
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