Standard for a nanotopography apparatus and method for the production thereof

摘要

Gegenstand der Erfindung ist ein Standard zum Kalibrieren und Überprüfen eines Nanotopographie-Geräts, umfassend ein Substrat und mindestens eine auf dem Substrat abgeschiedene Struktur mit einer lateralen Ausdehnung von 0,5 bis 20 mm und einer vertikalen Ausdehnung von 5 bis 500 nm, die von Flanken begrenzt ist, die eine Steigung von höchstens 1*10<-3> aufweisen. Gegenstand der Erfindung ist auch ein Verfahren zur Herstellung des Standards, wobei Material mit einer inhomogenen Abscheiderate auf dem Substrat abgeschieden wird.