发明名称 THIN-FILM PIEZOELECTRIC DEVICE
摘要
申请公布号 KR20010101470(A) 申请公布日期 2001.11.14
申请号 KR1020017008763 申请日期 2001.07.11
申请人 发明人
分类号 H01L41/08;H03H9/15 主分类号 H01L41/08
代理机构 代理人
主权项
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