正比微机械装置

摘要

本发明提供一种正比微阀,该微阀具有第一、第二和第三层以及高形态比的几何形状。第一层形成具有入口和出口的腔。第二层因掺杂而具有低电阻率,并结合在第一层和第三层之间,该第二层上形成具有流通区域的腔,以使流体在入、出口之间流动。第二层上还形成可致动的移动部件以及一个或多个热致致动器,该致动器用于使移动部件移到一个位置,该位置位于打开和关闭位置之间并包含该打开和关闭位置,以使流体流入或流出。第三层形成该腔的一个壁,并提供电热热膨胀致动器用的电接触部件。热致致动器和移动部件具有高的形态比,用反应性离子深度蚀刻法形成,使得它们可以在第二层的平面内移动而不能移出此平面。因此,致动和移动部件的移动均在第二层的平面内进行。

主权项

1.一种微机械装置，包括：第一层；形成腔区的第二大体平面层，上述第二层固定于第一层，使得第一层基本封闭邻接第一层的腔区；悬挂在第一层上面的第一部件，该部件包括整体固定于第二层的位于腔区内的第一近端部分，该部件还包括远端部分；悬挂在第一层上面的第二部件，该部件包括整体固定于第二层的位于腔区内的近端部分，该部件还包括远端部分；悬挂在第一层上面的移动部件，该部件包括第一端部分和第二端部分，该部件在腔区内固定在第一悬挂部件和第二悬挂部件的远端部分，其中第一和第二部件相对于移动部件配置，使得移动部件可在预定移动范围移动；以及第一致动器，悬挂在第一层的上面，操作上连接于第一悬挂部件，以便选择地按比例地移动移动部件。