发明名称
摘要
申请公布号 JP2001521993(A) 申请公布日期 2001.11.13
申请号 JP20000519129 申请日期 1998.11.03
申请人 发明人
分类号 C23C4/10;C23C30/00;F01D5/28;(IPC1-7):C23C30/00 主分类号 C23C4/10
代理机构 代理人
主权项
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