| 发明名称 |
Fast-etching, thermosetting anti-reflective coatings derived from cellulosic binders |
| 摘要 |
Anti-reflective compositions are prepared from cellulosic binders with improved etch rates
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| 申请公布号 |
US6316160(B1) |
申请公布日期 |
2001.11.13 |
| 申请号 |
US20000643695 |
申请日期 |
2000.08.22 |
| 申请人 |
BREWER SCIENCE, INC. |
发明人 |
SHAO XIE;MEADOR JIM D.;BREWER TERRY LOWELL |
| 分类号 |
G03F7/11;C08B15/06;C08L1/10;C08L1/26;C08L61/32;C09D5/00;C09D101/08;C09D101/14;C09D161/20;G02B1/11;G03F7/09;(IPC1-7):G03F7/11 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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