发明名称
摘要
申请公布号 JP2001522539(A) 申请公布日期 2001.11.13
申请号 JP19990540879 申请日期 1999.01.12
申请人 发明人
分类号 H01L41/22;F02D41/20;F02D41/38;H01L41/04;H02N2/06;(IPC1-7):H01L41/22 主分类号 H01L41/22
代理机构 代理人
主权项
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