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发明名称
摘要
申请公布号
JP2001522539(A)
申请公布日期
2001.11.13
申请号
JP19990540879
申请日期
1999.01.12
申请人
发明人
分类号
H01L41/22;F02D41/20;F02D41/38;H01L41/04;H02N2/06;(IPC1-7):H01L41/22
主分类号
H01L41/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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