发明名称 批次生产微球透镜阵列
摘要 一种批次生产微球透镜之制造方法,包含于一基板上涂布第一聚合物或第一聚合物组成物层;之后于第一聚合物或第一聚合物组成物层上涂布第二聚合物或第二聚合物组成物层,其中该第一聚合物之玻璃转换温度(Tg)高于第二聚合物之玻璃转换温度(Tg);随之以黄光微影法(lithography)于第一聚合物或第一聚合物组成物层以及第二聚合物或第二聚合物组成物层形成相同之图样(pattern);接着加热该涂布聚合物之基板至一高于该第一聚合物玻璃转换温度(Tg)但低于该第二聚合物玻璃转换温度(Tg)之工作温度;并保持该涂布聚合物之基板于该工作温度至第二聚合物形成该微球透镜;以及最后冷却该微球透镜。该批次生产之微球透镜,系位于一基板表面上,且该微球透镜包含:一底座,系位于该基板表面之上;以及一球型透镜,系位于该底座表面之上。
申请公布号 TW463058 申请公布日期 2001.11.11
申请号 TW089122015 申请日期 2000.10.20
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 林育生;林坤龙;潘正堂;陈世洲;杨诏中
分类号 G02B3/00 主分类号 G02B3/00
代理机构 代理人
主权项 1.一种批次生产微球透镜阵列之方法,包含以下之步骤:(A)提供一基板;(B)于一基板上涂布第一聚合物或第一聚合物组成物层;(C)于第一聚合物或第一聚合物组成物层上涂布第二聚合物或第二聚合物组成物层,其中该第一聚合物之玻璃转换温度(Tg)高于第二聚合物之玻璃转换温度(Tg);(D)以黄光微影法(lithography)于第一聚合物或第一聚合物组成物层以及第二聚合物或第二聚合物组成物层形成相同之图样(pattern);(E)加热该涂布聚合物之基板至一高于该第二聚合物玻璃转换温度(Tg)但低于该第一聚合物玻璃转换温度(Tg)之工作温度以进行改流(reflow);(F)保持该涂布聚合物之基板于该工作温度至第二聚合物形成该微球透镜;以及(G)冷却该微球透镜。2.如申请专利范围第1项所述之批次生产微球透镜阵列之方法,其中该第一聚合物为聚亚醯胺。3.如申请专利范围第1项所述之批次生产微球透镜阵列之方法,其中该第二聚合物为聚丙烯酸聚合物。4.如申请专利范围第1项所述之批次生产微球透镜阵列之方法,其中该微球透镜为球型微球透镜。5.如申请专利范围第1项所述之批次生产微球透镜阵列之方法,其中该图样(pattern)为圆形。6.如申请专利范围第1项所述之批次生产微球透镜阵列之方法,其中该图样之第二聚合物或第二聚合物组成物层之厚度及宽度比値大于或等于0.6。7.一种微球透镜,系位于一基板表面上,且该微球透镜包含:一底座,系位于该基板表面之上,为一第一聚合物或第一聚合物组成物层于一基板上,经加热而成;以及一球型透镜,系位于该底座表面之上,系将一第二聚合物或第二聚合物组成物层涂布于该第一聚合物或该第一聚合物组成物层上,经加热至高于该第二聚合物之玻璃转换温度(Tg)之工作温度改流(reflow)而形成;其中该第一聚合物之玻璃转换温度(Tg)高于该第二聚合物之玻璃转换温度(Tg)。8.如申请专利范围第7项所述之微球透镜,其中该第一聚合物第二聚合物为聚亚醯胺。9.如申请专利范围第7项所述之微球透镜,其中该第二聚合物组成物至少包含一光阻组成物。10.如申请专利范围第7项所述之微球透镜,其中该第二聚合物为聚丙烯酸聚合物或聚甲基丙烯酸聚合物。图式简单说明:第一图系本发明微球透镜之制程示意图。第二图系本发明微球透镜之示意图。
地址 新竹县竹东镇中兴路四段一九五号