发明名称 物料搬运及运输之系统与方法
摘要 在此提出一种物料搬运及运输之系统与方法,其用以将一基体载架于储存所与加工处理目的地间移动。该系统包括一车辆,该车辆在一支撑结构如支撑于楼地板上之一通路或一轨道总成上运行,该支撑结构可能位在一加压隧道内。该车辆上之一载架承座收纳并支撑载架。该车辆上之一升降机构举高及降下该载架承座。一装载埠支撑表面配置于该支撑结构上方。该载架受举起穿过该装载埠支撑表面内之一孔。该装载埠支撑表面上之一装载埠承座收纳并支撑邻近一选定目的地之载架。一载架操纵机构操纵该载架至该装载埠承座上方。然后该升降机构将该载架降下至该装载埠承座上。该系统特别适用于搬运及运输半导体晶圆载架。
申请公布号 TW462945 申请公布日期 2001.11.11
申请号 TW089103884 申请日期 2000.05.03
申请人 PRI自动化公司 发明人 墨德 卫斯勒;米契尔 韦斯;吉尔德M 怀德门
分类号 B65G49/07 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种物料搬运及运输系统,其用以将一载架支撑之物料在储存目的地与加工处理目的地间移动,该系统包含:一车辆,其设计为在一支撑结构上运行,该车辆包含:一载架承座,其设计为收纳并支撑一个能够支承待运输物料之载架,及一升降机构,其作用将该载架承座垂直举起和降下;一装载埠支撑表面,其位于该支撑结构之垂直上方,该装载埠支撑表面内有一开口,该开口之大小允许该载架垂直穿过;一装载埠承座,其在该装载埠支撑表面上且设计为收纳并支撑邻近一选定目的地之载架;及一载架操纵机构,其作用操纵该载架自在该车辆承座上之一举起位置举高穿过该支撑表面内之开口到在该装载埠承座上之一装载位置。2.如申请专利范围第1项之系统,其中该支撑结构包含定义于一楼地板上之一路径。3.如申请专利范围第1项之系统,其中该支撑结构包含支撑于一楼地板上之一轨道总成。4.如申请专利范围第3项之系统,其中该轨道总成包含一单一轨道。5.如申请专利范围第1项之系统,其中该车辆更包含一台车及支撑于该台车上之一台座,该台车设计为在该支撑结构上运行。6.如申请专利范围第5项之系统,其中该车辆更包括复数个在该支撑结构上运行之台车。7.如申请专利范围第1项之系统,其中该升降机构包含一杠杆式升降机构。8.如申请专利范围第1项之系统,其中该载架承座包含复数个插销,该等插销设计为与该载架之一底部表面上的相应凹洞配合。9.如申请专利范围第1项之系统,其中该载架承座符合SEMIE57标准。10.如申请专利范围第1项之系统,其中该载架承座将该载架维持于一斜角以避免该载架内之物料在运输和搬运过程中掉出该载架内之一开口。11.如申请专利范围第10项之系统,其中该斜角为与水平成5。12.如申请专利范围第1项之系统,其中:该载架操纵机构包含一致动器,该致动器连结至该升降机构且可作用将该载架承座自该举起位置旋转至该装载埠承座上方之一位置;且该装载埠支撑表面内更包括拱形狭缝以在该车辆旋转期间允许该载架承座之突起部分通过。13.如申请专利范围第11项之系统,其中该车辆上之载架承座设计为以该载架之一进出面与沿该轨道行进之方向成一角度的方式运输该载架。14.如申请专利范围第11项之系统,其中该角度为45。15.如申请专利范围第1项之系统,其中:该载架操纵机构包含一连杆,该连杆可作用将该载架承座自该举起位置移动至该装载埠承座上方之一位置;且该装载埠支撑表面内更包括拱形狭缝以在该车辆移动期间允许该载架承座之突起部分通过。16.如申请专利范围第15项之系统,其中:该车辆上之载架承座设计为以该载架之一进出面与沿该轨道行进之方向为平行的方式运输该载架;且该载架操纵机构设计为在该载架于该装载埠承座上方移动其间维持该进出面与行进方向平行。17.如申请专利范围第1项之系统,其中该装载埠承座包含复数个插销,该等插销设计为与该载架之一底部表面上的相应凹洞配合。18.如申请专利范围第1项之系统,其中该装载埠承座符合SEMI E57标准。19.如申请专利范围第1项之系统,其中该轨道总成与车辆在一隧道之内,且该装载埠支撑表面包含该隧道之一顶部表面。20.如申请专利范围第19项之系统,其中该隧道维持在比一外界环境高的压力。21.如申请专利范围第19项之系统,其中该隧道包括一可拆进出镶板。22.如申请专利范围第19项之系统,其中该隧道包括一人员通行段以允许人员自该隧道之一侧到另一侧。23.如申请专利范围第22项之系统,其中该人员通行段包含一开合桥、一回旋式轨道或一旋转门。24.如申请专利范围第1项之系统,其更包含一电梯总成以将一车辆抬到一楼地板高程之上或之下。25.一种半导体制造设施,其包括如申请专利范围第1项之物料搬运及运输系统。26.一种用以将一载架在储存目的地与加工处理目的地间运输并在该等目的地搬运该载架之方法,其包含:沿一支撑结构在一车辆上运输该载架;将该载架停在一选定目的地附近;在该选定目的地将该载架举高至一举起位置;以该载架之一进出面定向为受一处理工具或储存装置取用之方式操纵该载架至一装载埠承座上方;及降下该载架至该装载埠承座上。27.如申请专利范围第26项之方法,其中:该载架于该车辆上以该载架进出面定向为与行进方向成一角度之方式运输;且该操纵步骤更包含绕一远距中心旋转该车辆及载架以将该进出面带到与选定目的地之一进出埠平行。28.如申请专利范围第27项之方法,其中该角度为45。29.如申请专利范围第26项之方法,其中:该载架于该车辆上以该载架进出面定向为与行进方向平行之方式运输;且该操纵步骤更包含将该车辆及载架移动至选定目的地之一进出埠并同时维持该载架进出面之方位平行于该支撑结构上之行进方向。30.如申请专利范围第26项之方法,其中该载架沿该支撑结构成一斜角以避免该载架内之物料掉出该载架内之一开口的方式运输。31.如申请专利范围第30项之方法,其中该斜角为与水平成5。图式简单说明:第一图为一依据本发明之物料搬运及运输系统的剖面端视图;第二图为第一图系统之侧视图,其中一车辆处于一降下位置;第三图为第一图系统之侧视图,其中一车辆处于一举高位置;第四图为第一图系统中车辆之侧视图,其中绘出一升降机构;第五图为第一图系统之顶视图,其绘出一载架操纵机构之实施例,其中一载架处于一举高位置且与一顶部表面内之一开口对准;第六图为第五图操纵机构之顶视图,其中该载架定位于一装载埠上;第七图为第一图系统之顶视图,其绘出载架操纵机构之另一实施例,其中一载架处于一举高位置;第八图为第七图操纵机构之顶视图,其中该载架定位于一装载埠上;第九图为一开合式人员通道之侧视图;第十图为一回旋式人员通道之顶视图;第十一图为一旋转门式人员通道之顶视图;且第十二图为一电梯总成之侧视图。
地址 美国