发明名称 Process and apparatus for deposition of copper
摘要
申请公布号 US3084063(A) 申请公布日期 1963.04.02
申请号 US19590854185 申请日期 1959.11.19
申请人 PILKINGTON BROTHERS LIMITED 发明人 BARNES PHILIP CARRINGTON;KAY SOLOMON ELIJAH
分类号 C23C18/54 主分类号 C23C18/54
代理机构 代理人
主权项
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