Optical measuring device in particular for measuring thickness of coating

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf eine optische Meßanordnung, insbesondere zur Schichtdickenmessung sowie zur Ermittlung optischer Materialeigenschaften wie Brechungsindex, Extinktionsfaktor usw. einer Probe (P), mit einer Beleuchtungseinrichtung (1) zur Abgabe eines Meßlichtstrahls (6), einem Strahlteiler (8) zur Aufteilung des Meßlichtstrahls (6) in einen Objektlichtstrahl (10) und einen Referenzlichtstrahl (9), einem Meßobjektiv zum Ausrichten des Objektlichtstrahls (10) auf einen Meßort (M) an der Oberfläche der Probe (P) und zum Erfassen des an dem Meßort (M) reflektierten Lichtes des Objektlichtstrahls (10), sowie einer Auswerteeinrichtung (11), in welche der von der Probe (P) reflektierte Objektlichtstrahl (10) und der Referenzlichtstrahl (9) eingekoppelt sind, zum Erhalt von Informationen über die Probe (P), insbesondere über an dieser vorhandene Schichtdicken. Zur Einkopplung des Objektlichtstrahls (10) und des Referenzlichtstrahls (9) in die Auswerteeinrichtung (11) sind Lichtleiteinrichtungen (23, 25) mit einer Vielzahl von Lichtleitfasern vorgesehen. Hierdurch wird eine kompakte, flexibel aufstellbare und störungsunempfindliche optische Meßanordnung geschaffen, die sich besonders zur automatischen Überwachung kontinuierlicher Produktionsvorgänge, insbesondere bei der Halbleiterchip-Herstellung, eignet. <IMAGE>