发明名称 | 制备薄膜的喷雾热分解方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种制备薄膜的喷雾热分解方法,该方法首先配制所需金属盐溶液,然后经过压缩空气雾化器,使溶液雾化,在载流气体的带动下喷进放置有被加热基板的容器中,雾体经过烘烤后挥发去溶剂并进一步分解沉积在基板上成膜。该方法易于控制化学计量比,具有良好的取向性和外延性、成本低、不需多次镀膜,同时雾化时不发热,而且雾量稳定,不需冷却装置。该方法可制备金属氧化物薄膜。$#! | ||
申请公布号 | CN1074469C | 申请公布日期 | 2001.11.07 |
申请号 | CN98119488.5 | 申请日期 | 1998.10.14 |
申请人 | 中国科学院新疆物理研究所 | 发明人 | 宋世庚;武光明 |
分类号 | C23C20/06 | 主分类号 | C23C20/06 |
代理机构 | 中国科学院新疆专利事务所 | 代理人 | 张莉 |
主权项 | 1、一种制备薄膜的喷雾热分解方法,其特征在于,首先配制所需金属盐溶液,然后经过压缩空气雾化器,使溶液雾化,在载流气体的带动下喷进放置有被加热基板的容器中,雾体经过烘烤后挥发去溶剂并进一步分解沉积在基板上成膜。 | ||
地址 | 830011新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市北京南路40号 |