薄膜电路材料的激光成象

摘要

形成薄膜电气组件的方法,包括将具有所需电气性能的薄膜沉积在异质基底上,用计算机导向激光器的热能除去该薄膜的选定部分。根据本发明的一个方面,该薄膜为导电材料,例如铂或掺杂铂,且该基底为金属箔,例如铜箔。激光产生的热能烧蚀掉部分薄膜。根据本发明的另一个方面,在介电材料基底上沉积零价金属层,该基底的熔点或分解温度比零价金属的明显高。用计算机导向激光器将该零价金属层形成图案以形成电路组件,该激光提供的热能足以汽化掉零价金属层上的选定部分。

主权项

1．一种薄膜电路组件的制造方法，包括在不同材料的基底上沉积材料薄层，并将所述薄层的选定部分暴露在计算机导向激光器提供的热能中。