| 摘要 |
<p>본 발명 반도체 웨이퍼 트랜스퍼 트위저는 메인 척(11)의 하측에 슬라이딩가능하게 지지턱(12)이 구비된 서브 척(13)을 설치하고, 메인척(11)의 상측에는 웨이퍼(W)의 측면을 지지하기 위한 지지블럭(14)을 설치하며, 그 지지블럭(14)에 상기 서브 척(13)을 전,후진시키기 위한 서브 척 전,후이동수단(16)을 설치하여, 웨이퍼의 이송시 지지블럭과 서브 척의 지지턱을 이용하여 고정한 상태로 이송함으로써, 이송중에 웨이퍼가 떨어져서 파손되는 것을 방지하는 효과가 있다.</p> |
