用阴离子交换树脂降低线型酚醛树脂溶液中的金属离子含量

摘要

本发明提供利用特殊处理过的阴离子交换树脂制造不溶于水，但可溶于碱水溶液的含极低量金属离子的线型酚醛树脂的方法。本发明也提供由这种线型酚醛树脂制造含极低量金属离子的光刻胶组合物的方法和利用这种光刻胶组合物制造半导体器件的方法。$＃!

主权项

1．采用碱性阴离子交换树脂纯化线型酚醛树脂溶液来制备不溶于水的、但溶于碱溶液的含极少量金属离子的线型酚醛树脂的方法，包括：a)用水洗涤阴离子交换树脂，接着用无机酸溶液洗涤，再用水洗，接着用氢氧化铵溶液洗，随后用去离子水洗涤，从而将阴离子交换树脂中钠和铁离子含量各降低至低于200ppb；b)制备线型酚醛树脂在其适用溶剂中的溶液；c)用与溶解线型酚醛树脂相同的溶剂或至少与树脂溶剂相容的溶剂洗涤阴离子交换树脂，以基本除去所有水分；以及d)使线型酚醛树脂溶液通过洗涤过的阴离子交换树脂床，其流率为能使溶液在床中停留时间多于10分钟，从而使线型酚醛树脂溶液中钠和铁离子含量各降低至低于100ppb。