| 摘要 |
본 발명은 적외선 검출기 및 그 제조방법을 개시한다. 이에 의하면, 적외선 검출소자가 배열되고 범프들을 갖는 기판과, 상기 적외선 검출소자로부터의 신호를 처리하는 리드아웃회로가 형성되고 범프들을 갖는 기판에 각각 폴리이미드 재질의 스토퍼를 각각 형성함으로써 대응하는 스토퍼들이 상, 하로 서로 접촉할 때까지 기판들의 범프들을 플립칩본딩할 때 이들 기판들 사이의 간격이 접촉된 스토퍼들의 총 높이에 의해 일정하게 유지된다. 따라서, 플립칩본딩 완료한 기판들이 서로 평형을 이루며 최소 간격을 유지한다. 그 결과 해당 기판의 이웃한 범프들이 단락하지 않고, 대응하는 범프들이 연결되지 않는 불량 현상이 방지된다. 또한, 하이브리드 칩의 열적 스트레스에 대한 내구성이 향상된다. |
