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发明名称
摘要
申请公布号 JP3225706(B2) 申请公布日期 2001.11.05
申请号 JP19930232365 申请日期 1993.08.25
申请人 发明人
分类号 G01R33/64;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/320 主分类号 G01R33/64
代理机构 代理人
主权项
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