| 摘要 |
<p>본 발명은 고온플라스마를 이용한 폐가스처리장치에 관한 것으로서, 반도체 제조과정에서 발생하는 폐프레온가스를 소량의 질소와 전기만을 사용하여 고온의 전기아크 플라스마를 발생시켜 열분해 처리함으로써, 오존층 파괴물질인 프레온가스를 연속적으로 분해처리하는 고온플라스마를 이용한 폐가스처리장치에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 폐프레온가스를 수용하는 입구배관과 전원으로부터 공급되는 교류를 직류로 정류하는 3상정류 및 전류조정회로의 마이너스극으로 노이즈를 제거하는 노이즈필터와 시동변압기의 2차코일을 통하여 접속되는 상부전극과 전원으로부터 공급되는 교류를 직류로 정류하는 3상정류 및 전류조정회로의 플러스극으로 노이즈를 제거하는 노이즈필터와 저항이 높은 시작저항을 통하여 접속되고 상기 상부전극의 하부에 설치된 중간전극과 전원으로부터 공급되는 교류를 직류로 정류하는 3상정류 및 전류조정회로의 플러스극으로 노이즈를 제거하는 노이즈필터와 저항이 낮은 주저항을 통하여 접속되고 상기 중간전극의 하부에 설치된 하부전극과 상기 입구배관과 상기 상부전극간의 절연을 위한 상기 상부전극의 내경의 일부에 형성된 입구절연대와 상기 상부전극 하부에 형성되어 외부로부터 입력되는 압축질소를 입력받는 질소회전대와 상기 질소회전대를 통하여 입력되는 상기 압축질소를 나선형으로 회전시키기 위한 질소회전실과 상기 중간전극과 상기 하부전극간의 절연을 위한 절연대와 상기 상부전극과 상기 중간전극 사이의 절연의 파괴와 상기 질소회전대를 통하여 입력되는 상기 압축질소에 의해 발생되어 상기 입구배관으로부터 입력되는 상기 폐프레온가스를 분해처리하는 아크화염과 상기 아크화염을 방출시키기 위한 반응배관 및 상기 하부전극과 상기 반응배관간의 절연을 위한 하부절연대로 이루어진다.</p> |
