| 摘要 |
<p>본 발명은 상기 대물 렌즈의 실제 변위를 감지하는 플래그 센서의 편차를 보정한 후에 전체 가변 범위에 걸쳐 구동 입력 전압의 진폭을 변화시켜 트랙킹 액추에이터를 가진시킴에 따라 기설정된 복수의 기준 샘플점들에서 기준 변위 전압과 기준 트랙킹 편차 전압이 기준 편차량 저장부에 각각 일대일 대응되어 저장되도록 제어한 후, 편차 보정부가 플래그 센서로부터 입력된 변위 전압에 대응하는 기준 트랙킹 편차 전압을 기준 편차량 저장부에서 검색하여 편차 보정 전압을 산출할 수 있도록 플래그 센서와 기준 편차량 저장부를 제어하는 플래그 센서를 이용한 트래킹 편차 보정 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 트랙킹 편차의 영향을 최소화하여 안정된 트래킹 동작을 수행할 수 있는 장점이 있다.</p> |
