| 摘要 |
<p>본 발명은 웨이퍼 번인 테스트 장치에 관한 것으로, 특히 이 장치는 웨이퍼 번인 테스트 인에이블신호 발생기와, 워드라인의 어드레스를 제어하는 로우 제어신호를 발생하는 로우 제어부와, 내부 로우 어드레스를 카운트하는 카운터와, 글로발 어드레스 신호를 발생하는 글로발 어드레스 발생기와, 번인 테스트 인에이블신호와 셀프 리프레시 신호에 응답하여 반도체 소자에서 미리 설정된 리프레시 주기보다 큰 새로운 셀프 리프레시 주기동안 셀프 리프레시 요구신호를 발생하는 셀프 리프레시 요구신호 발생기와, 리프레시 한 주기가 종료되는 시점에서 워드라인의 디스에이블을 결정하는 센싱 지연부와, 셀프 리프레시 모드를 이용한 번인 테스트시 셀프 리프레시 요구신호의 주기동안 워드라인을 인에이블시키는 제어신호를 발생하는 ras신호 발생부를 구비한다. 그러므로, 본 발명은 테스트 모드에서 리프레시 주기동안 계속해서 워드라인에 고전압이 인가되어 전체 테스트 시간을 단출시킬 수 있을 뿐만 아니라 테스트시 외부 제어 명령을 사용하지 않고서도 테스트를 정상적으로 수행할 수 있어 번인 테스트로 인해 손상될 수 있는 프로빙 카드의 패드 수를 줄일 수 있다.</p> |
