| 摘要 |
<p>본 발명은 SMIF 시스템의 그리퍼를 개시한다. 본 발명은 카세트 캐리어를 반도체 장비에 로딩/언로딩시키기 위해 카세트 캐리어를 움켜쥐기 위한 파지부와, 파지부를 작동시키기 위한 감지수단 및 리미트 스위치를 구비한 스탠더드 메커니컬 인터페이스 시스템의 그리퍼에 있어서, 감지수단은 내부가 빈 원통형상의 하부에 외주연을 따라 테두리가 형성된 가이드와, 가이드 내부에서 상하방향으로 이동할 수 있도록 상하방향으로 삽입되는 가이드 봉과, 가이드의 테두리와 가이드 봉 하부 사이에 탄성적으로 설치되는 스프링을 포함한다. 따라서, 카세트 캐리어가 전체 공정 상에 영향을 미치지 않을 정도의 범위내에서 약간 기울어져 있더라도 감지수단의 감지기능이 원활하게 이루어져 그리퍼의 동작을 원활하게 하고 SMIF 시스템의 공정 효율성 및 안정성을 기할 수 있다.</p> |
