发明名称 水溶性聚合物以及含有该聚合物之光阻剂组合物
摘要 本发明提供一种水溶性聚合物,其系由以下步骤而制得。将一含羧酸基之聚合物与一硷性试剂反应,使得一部分羧酸基被反应,反应的量为使得该聚合物成为水溶性。接着,使以上所得之聚合物与一含有不饱合键和/或异原子之环氧乙基化合物反应,使得聚合物中残余羟酸基有l至100莫耳百分比被环氧乙基化合物经由环氧基开环反应而形成酯基,其中该异原子为矽、氮、磷、或硫。本发明之水溶性聚合物可作为感光性树脂,将本发明光阻剂组合物应用在印刷电路板光阻制程中时,不会有回黏底片的问题,对于印刷电路板上之铜有很好的附着性,且具有良好的光敏感性、优良水分散性和储存安定性。
申请公布号 TW461988 申请公布日期 2001.11.01
申请号 TW088122229 申请日期 1999.12.17
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 宋清潭;杨胜俊;陈秀美;刘宜桦
分类号 G03F7/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项 1.一种水溶性聚合物,其系由以下步骤而制得:(a)将一含羧酸基之聚合物与一硷性试剂反应,使得一部分羧酸基被反应,反应的量为使得该聚合物成为水溶性;以及(b)使步骤(a)所得之聚合物与一含有不饱合键和/或异原子之环氧乙基化合物反应,使得聚合物中残余羧酸基有1至100 莫耳百分比被环氧乙基化合物经由环氧基开环反应而成为酯基,其中该异原子为择自由矽、氮、磷、硫所组成之族群中。2.如申请专利范围第1项所述之水溶性聚合物,其中该含羧酸基之聚合物为择自由丙烯酸类、丙烯酸酯类、甲基丙烯酸类、甲基丙烯酸酯类、酸酐类、及其混合物所组成之族群中之单体所形成之聚合物或共聚物。3.如申请专利范围第2项所述之水溶性聚合物,其中该含羧酸基之聚合物为单体A和单体B的共聚物,其中该单体A为择自由丙烯酸类、丙烯酸酯类、甲基丙烯酸类、甲基丙烯酸酯类、酸酐类、及其混合物所组成之族群中,而单体B为苯乙烯类。4.如申请专利范围第3项所述之水溶性聚合物,其中该酸酐类为择自由马来酸酐、甲基马来酸酐、内-5-冰片烯-2,3-二羧基酐(endo-5-norbornene-2,3-dicarboxylicanhydride)、顺-1,2,3,6-四氢苯二甲酸酐(cis-1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride)所组成之族群中。5.如申请专利范围第1项所述之水溶性聚合物,其中该硷性试剂为择自由氢氧化铵、氢氧化钠、氢氧化钾、4-甲基吗福、2-胺基-2-甲基-1-丙醇、2-二甲基胺基-2-甲基-1-丙醇、单乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、和吗福所组成之族群中。6.如申请专利范围第5项所述之水溶性聚合物,其中该硷性试剂为氢氧化铵。7.如申请专利范围第1项所述之水溶性聚合物,其中该含有不饱合键之环氧乙基化合物为择自由丙烯酸环氧丙酯(glycidylacrylate)甲基丙烯酸环氧丙酯(glycidyl methacrylate)、p-环氧-苯乙烯(p-epoxy-styrene)、p-缩水甘油基-苯乙烯(p-glycidyl-styrene)、烯丙基缩水甘油基醚(allyl glycidylether)所组成之族群中。8.如申请专利范围第1项所述之水溶性聚合物,其中该含异原子之环氧乙基化合物为含矽原子之环氧乙基化合物。9.如申请专利范围第8项所述之水溶性聚合物,其中该含矽原子之环氧乙基化合物为3-环氧丙醇丙基三甲氧基矽烷(3-glycidyloxypropyltrimethoxy silane)或-(3,4-环氧基环已基)-乙基三甲氧基矽烷[-(3,4-epoxycyclohexyl)-ethyl trimethoxysilane]。10.如申请专利范围第1项所述之水溶性聚合物,其中步骤(b)系在一相转移催化剂的存在下进行。11.如申请专利范围第10项所述之水溶性聚合物,其中该相转移催化剂为择自由溴化四丁基铵、溴化四丙基铵、溴化四甲基铵、溴化四丁基鏻、溴化四苯基鏻、溴化苯甲基三乙基铵、氯化乙基三辛基鏻、氯化甲基三辛基铵、氯化四苯基鏻、氯化甲基三苯基鏻、碘化四丁基铵、和碘化四苯基鏻所组成之族群中。12.如申请专利范围第1项所述之水溶性聚合物,其分子量为5000至250000之间,酸价为50至250之间。13.一种光阻剂组合物,包括下列成份:(1)10至50重量%之感光性树脂,其系为由以下步骤而制得之水溶性聚合物:(a)将一含羧酸基之聚合物与一硷性试剂反应,使得一部分羧酸基被反应,反应的量为使得该聚合物成为水溶性;以及(b)使步骤(a)所得之聚合物与一含有不饱合键和/或异原子之环氧乙基化合物反应,使得聚合物中残余羧酸基有1至100莫耳百分比被环氧乙基化合物经由环氧基开环反应而成为酯基,其中该异原子为择自由矽、氮、磷、硫所组成之族群中;(2)0.1至10重量%之一光聚合起始剂;(3)5至50重量%之一可光聚合之反应性单体;以及(4)30至75重量%之水。14.如申请专利范围第13项所述之光阻剂组合物,其中该光聚合起始剂为择自由二苯乙醇酮(benzoin)、二苯乙醇酮烷基醚(benzoin alkylether)、二苯乙二醛(benzil)、缩酮(ketals)、苯乙酮化合物(acetophenones)、二苯甲酮(benzophenone)、4,4'-二甲基-胺基-二苯甲酮(4,4'-dimethy1-amino-benzophenone)、硫代氧杂恩酮化合物(thioxanthones)吗福-丙酮化合物(morpholino-propanones)所组成之族群中。15.如申请专利范围第13项所述之光阻剂组合物,其中该可光聚合之反应性单体为多官能基之丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。16.如申请专利范围第15项所述之光阻剂组合物,其中该可光聚合之反应性单体为择自由四乙二醇二丙烯酸酯(tetraethylene glycol diacrylate)、四乙二醇二甲基丙烯酸酯(tetraethylene glycoldimethacrylate)、第三丁基甲基二醇二丙烯酸酯(neopentylglycol diacrylate)、第三丁基甲基二醇二甲基丙烯酸酯(neopentylglycol dimethyl acrylate)、聚乙二醇二丙烯酸酯(polyethylene glycol diacrylate)、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯(polyethylene glycol dimethylacrylate)、乙氧基化之双酚A二醇二丙烯酸酯(ethoxylated bisphenol A glycol diacrylate)、乙氧基化之双酚A二醇二甲基丙烯酸酯(ethoxylated bispheenol A glycoldimethyl acrylate)、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯(trimethylolpropane trimethacrylate)、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(trimethylolpropane triacrylate)异戊四醇三丙烯酸酯(pentaerythritol triacrylate)、乙氧基化之三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(ethoxylated trimethylolpropanetriacrylate)、甘油基丙氧基三丙烯酸酯(glycerylpropoxy triacrylate)、异戊四醇四丙烯酸酯(pentaerythritol tetraacrylate)、二异戊四醇五丙烯酸酯(dipentaerythritol pentaacrylate)所组成之族群中。
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