| 主权项 |
1.一种电浆制程用装置,系在容器内激发电浆,再以 上述电浆对置于上述容器内之被处理物施行处理, 并加入高频率的偏压以用来控制上述使用电浆之 处理,包括: 一绝缘隔热装置,设立在上述容器内之底部,系使 用可用来隔绝上述高频率之介电常数低且可用来 隔热之导热系数小的材料所作成; 一载置装置,用来装载被处理物,系叠在上述绝缘 隔热装置上而设立,具有施加上述高频率以产生偏 压之电极;以及 一温度调整装置,设立在上述载置装置上,系用来 控制上述载置装置之温度。2.如申请专利范围第1 项所述之电浆制程用装置,其中: 上述温度调整装置系具有供给冷却用冷媒之供给 部,以及在上述载置装置中所共同设立的用来让来 自上述供给部之冷煤流动之通路; 上述载置装置系具有在内部具有上述电极之平台, 以及在内部具有共同配置于上述平台与上述绝缘 隔热装置之间的上述通路并利用来自上述供给部 之冷煤来冷却上述平台之冷却板。3.如申请专利 范围第1项所述之电浆制程用装置,其中上述温度 调整装置系具有供给加热用电源之电源部,以及在 上述载置装置内所共同设立的藉着来自上述电源 部之电源供给而发热之加热器。4.如申请专利范 围第1.2或3项所述之电浆制程用装置,其中上述绝 缘隔热装置之材料为石英。5.如申请专利范围第1. 2或3项所述之电浆制程用装置,其中上述电极系在 内部具有二层之电极板。6.如申请专利范围第4项 所述之电浆制程用装置,其中上述电极系在内部具 有二层之电极板。图式简单说明: 第一图所示系本发明的实施例1之构造图。 第二图所示系本发明的实施例2之构造图。 第三图所示系实施例2的加热平台其剖面之剖面图 。 第四图所示系在实施例2的加热平台中所设置之电 极的斜视图。 第五图所示系在实施例2的加热平台中所使用之导 孔线路的配置平面图。 |
