发明名称 Procédé de fabrication d'un dispositif semi-conducteur et dispositif semi-conducteur fabriqué suivant ce procédé
摘要
申请公布号 FR1339199(A) 申请公布日期 1963.10.04
申请号 FR19620915297 申请日期 1962.11.14
申请人 N. V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人
分类号 C23F1/00;C23F1/02;C25F3/12;H01L21/306;H01L21/3063;H01L21/308;H01L29/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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