| 摘要 |
<p>본 발명은, 반도체 화학기계적 폴리싱 설비의 에어 공급장치에 관한 것으로서, 그 구성은, 웨이퍼 폴리싱을 위한 캐리어의 상하운동을 위해 에어공급관에 연결된 실린더와, 에어공급관과 실린더 사이에 연결되어 에어의 공급량을 소정 제어신호에 의해 조절하는 레귤레이터가 구비되고, 실린더로 공급되는 에어를 충진하는 댐퍼가 레귤레이터와 실린더 사이에, 그리고 레귤레이터의 전단에 더 설치된다. 그리고, 에어공급관에는 다수의 실린더가 각각 연결되는 다수의 레귤레이터가 구비되고, 에어공급관에 연결된 최선 레귤레이터와 최후 레귤레이터에는 에어공급관으로부터 분기된 제1에어공급관이 더 설치되어서 상기 실린더로 에어가 동일한 공기압으로 공급되어서 응답시간이 개선되며, 공정데이터의 신뢰도가 향상되는 효과가 있다.</p> |
