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<p>광 정보 저장 장치(optical data storage)의 기록/재생을 위한 입력 광을 미세 조절할 수 있는 정전 구동형 마이크로-미러 소자 및 그를 이용한 광 픽업 장치에 관한 것으로, 기판과, 기판 위에 형성되고 다수개의 홈들을 갖는 고정 전극부와, 외부의 인가 전압에 따라 대응되는 홈 내부를 상하로 왕복하는 돌출부를 가지며 고정 전극부의 상부에 위치하는 구동 전극부와, 구동 전극부 위에 형성되는 미러로 구성된다. 여기서, 구동 전극부는 기판의 양 에지(edge)에 각각 형성되는 앵커(anchor)들과, 앵커들에 고정되는 탄성 서스펜션(suspension)과, 탄성 서스펜션에 지지되는 미러판과, 미러판의 일 측면에 돌출되어 형성되고 고정 전극부의 홈에 각각 대응되어 일부분이 삽입되며 외부의 인가 전압에 따라 홈 내로 이동되는 다수개의 전극들로 구성된다. 이와 같이, 구성된 본 발명은 정전 구동 방식의 액튜에이터를 이용하므로 입력 광의 위치 조절 정밀도를 향상시키고, 소모 전력을 낮출 수 있으며, 미러와 구동기를 일체화 및 집적화하므로 광학계의 크기를 소형화 및 경량화시킬 수 있다.</p> |
