| 摘要 |
<p>본 발명은 웨이퍼 프로빙 장비 및 이를 이용한 웨이퍼 검사용 니들 교정 방법에 관한 것으로서, 웨이퍼를 테스트하기 위한 다수개의 니들들이 설치된 프로브 카드가 장착되는 웨이퍼 프로브 프로빙 장비에 있어서, 상기 웨이퍼가 놓이는 웨이퍼 척, 상기 웨이퍼 척을 고정시키며 수평 및 상하로 이동하는 웨이퍼 척 받침대, 상기 웨이퍼 척 받침대 위에 설치되며 상기 다수개의 니들들을 개별적으로 접촉하는 니들 척, 상기 웨이퍼 척 받침대 위에 설치되며 상기 다수개의 니들들의 위치를 파악하는 카메라, 및 상기 카메라로부터 상기 니들들의 위치를 나타내는 데이터를 받아서 상기 니들 척 및 상기 웨이퍼 척의 이동을 제어하는 콘트롤러를 구비하고, 상기 니들 척은 도전성을 갖는 신호선, 및 상기 신호선을 둘러싸는 쉴드선을 구비함으로써 웨이퍼 검사용 니들을 개별적으로 접촉할 수 있다.</p> |
