MICRODEVICE AND STRUCTURAL COMPONENTS OF THE SAME

摘要

(i)기판상에 미세스트라이프패턴을 포토프린트하는 스텝과, (ii) 기판상에 소정의 마스크패턴을 포토프린트하는 스텝을 가지고 미세스트라이프패턴과 마스크패턴이 중첩적으로 프린트되도록 하는 다중노광공정을 포함한 복수의 공정에 의해서 기판상에 형성된 패턴구조와 기판을 가진 디바이스에 있어서, 이 패턴구조에서 이 디바이스의 특정구조부분은 미세스트라이프패턴과 마스크패턴이 중첩적으로 프린트되는 부분에 배치되어 있다.