| 摘要 |
<p>목적: 본 발명은 유기금속 화학기상증착을 위한 초순수 버블러 장치를 제공한다. 구성: 본 발명의 버블러 장치는 반도체 소자의 전극을 형성하기 위해 소스 라인을 통해 입력되는 전극 소스를 버블링시켜 버블링된 소스를 챔버 내로 공급하는 버블러, 버블러 앞단에 위치하여 불활성 기체를 사용하여 버블러 내에 소스를 운반하는 제1 운반 개스 공급부, 버블러 후단에 위치하여 불활성 기체를 사용하여 버블러 내에 소스를 운반하는 제2 운반 개스 공급부 및 버블러 내에서 발생된 증기압에 의해 버블러 내의 압력과 소스 라인간의 압력차에 의해 버블러의 입력포트로 소스가 역류하는 것을 방지하기 위해 제1 운반 개스 공급부와 버블러 사이에 형성된 제1 체크밸브와 버블러와 제2 운반 개스 공급부 사이에 형성된 제2 체크밸브로 형성된 역류 방지부로 구성된다.</p> |
