| 摘要 |
<p>Um den Fluss einer Flüssigkeit zu messen, wird die Flüssigkeit (1) in einer Leitung (2) an einem Flusssensor (3) vorbeigeführt. Der Flusssensor (3) ist zusammen mit einer Steuer- und Auswerteschaltung auf einem Halbleitersubstrat integriert. Er besitzt eine Heizung und symmetrisch dazu zwei Temperatursensoren. Der Fluss wird aus dem Temperaturunterschied zwischen den Temperatursensoren und/oder aus der Leistungsaufnahme der Heizung ermittelt. Zur Kalibrierung des Sensors ist ein Ventil (4) vorgesehen, mit dem die Leitung (2) unterbrochen werden kann. Diese Anordnung erlaubt eine Flussmessung hoher Genauigkeit.</p> |
