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发明名称 MICROELECTRONIC STRUCTURE
摘要
申请公布号 EP1149408(A1) 申请公布日期 2001.10.31
申请号 EP19990964386 申请日期 1999.12.01
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 BRUCHHAUS, RAINER;MAZURE-ESPEJO, CARLOS;PRIMIG, ROBERT
分类号 H01L27/105;H01L21/02;H01L21/8246;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
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