发明名称 Method for aligning optical elements
摘要
申请公布号 GB2321974(B) 申请公布日期 2001.10.31
申请号 GB19980002386 申请日期 1998.02.04
申请人 * OKI ELECTRIC INDUSTRY CO LIMITED 发明人 YOSHIMASA * HIRANO
分类号 G02B6/36;G02B6/42;G03F7/20;H01L21/027;H01L31/0232;H01L31/12;H01L33/62;H01S5/00;(IPC1-7):G02B6/42 主分类号 G02B6/36
代理机构 代理人
主权项
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